Formfactor EPS150T探针台介绍

一、仪器照片

二、基本信息

品牌：Formfactor

型号：EPS150T

仪器类型：高精度自动化探针台

应用领域：广泛适用于半导体器件、微电子元件、新材料的电学性能测试，涵盖晶圆级测试、芯片失效分析、传感器性能验证、MEMS器件表征等场景，适配研发实验室、半导体制造工厂及第三方检测机构的测试需求。

三、主要特点

1. 载物台性能优异：核心Chuck Stage载物台采用高精度传动与闭环伺服控制，X/Y轴155mm×155mm大行程设计，可轻松承载≤150mm晶圆等大尺寸样品，无需频繁调整即可完成全区域测试，兼顾测试广度与效率；配备真空吸附功能，能牢固固定各类样品，保障测试过程中样品无位移。

2. 测试适配性强：支持4~8个独立探针臂选配，可适配直流、射频、高温等不同类型探针，能实现多通道并行测试，满足电压、电流、电阻等多种电学参数测量需求。

3. 操作便捷高效：兼容专用自动化测试软件，可实现样品加载、定位、测试及数据记录的全流程自动化，同时支持电动驱动与手动微调，搭配高倍率光学观察系统，辅助精准对位，降低操作难度。

4. 环境适应性好：可选配温控模块、防尘防振外壳及惰性气体保护舱，能适配高低温极端环境测试及敏感样品测试，保障测试环境稳定性与数据可靠性。

四、技术参数

1. 载物台参数：X/Y轴最大行程155mm×155mm；定位精度±1μm；重复定位精度≤0.5μm；台面平面度≤5μm/100mm。

2. 其他关键参数：探针臂数量可配4~8个；移动速度调节范围0.1mm/s~50mm/s；可选温控范围-60℃~200℃。