场发射扫描电子显微镜仪器介绍

一、仪器照片

品牌与型号：日本电子（JEOL）JSM-IT800。

仪器类型：台式场发射扫描电子显微镜。

应用领域：广泛应用于纳米材料、化学、半导体、生物等领域，可用于样品的高分辨率成像、元素分析等。

二、主要特点

电子枪技术：采用浸没式肖特基Plus场发射电子枪，集成了浸没式肖特基发射体和低像差聚光镜，实现了高束流亮度，即使在低加速电压（如5kV）下也能提供充足的探针电流（100nA），可用于高分辨率观察、高速元素mapping、EBSD分析和软X射线分析等。

电子光学控制系统：配备“Neo Engine”新一代电子光学控制系统，在调整各种显微镜参数时能实现稳定观察，且增强了自动功能，使用更加便捷。

物镜模块：提供多种物镜版本，包括混合型物镜（HL）、超级混合物镜（SHL/SHLs）和半浸没式物镜（i/is），以满足不同用户的需求，可实现从常规观察到高分辨率分析等多种功能。

探测器系统：可配备新型闪烁体背散射电子探测器（SBED）和多功能背散射电子探测器（VBED）。SBED能以高响应性获取图像，在低加速电压下也能产生清晰的材料衬度；VBED则可帮助获取3D、形貌和材料衬度的图像。

软件系统：集成了无缝GUI系统“SEM Center”，并标配JEOL的X射线能量色散谱仪（EDS），可实现从观察到元素分析的数据连续采集，提高工作效率。

三、技术参数

二次电子图像分辨率：0.5nm（15kV），0.7nm（1kV）。

放大倍数：10×～2,000,000×。

加速电压：0.01kV～30kV。

背散射电子图像分辨率：4.0nm@30kV（低真空模式）。